HUDRO-SOLVE ФОТОРЕЗИСТ , НАНОСИМЫЙ РАСПЫЛЕНИЕМ (балон - спрей)

Рекомендации по нанесению

Ниже описывается технология по нанесению гидросольвентного  фоторезиста на магниевые пластины.

Обработайте  непокрытую магниевую пластину раствором Mag Prep. Обрабатывать пластину следует тщательно, при этом не касаясь поверхности пластины руками и не оставляя не обработанных сухих мест.

2. Встряхните балон с Hydro-Solve фоторезистом в течение 3 минут, сделайте пробное распыление не на магниевую пластину, чтобы проверить, хорошо ли смешался раствор.

3. Распылять  спрей следует в хорошо вентилируемом, чистом непыльном помещении, без источников прямого света. Спрей наносится на расстоянии  25 см на предварительно  обработанную магниевую пластину, удерживаемую в вертикальном положении. Как правило, первоначально на пластину наносят тонкий слой спрея. Как только первый слой высохнет, сверху наносят второй более толстый слой. Избегайте нанесения слишком толстого слоя, не допуская появления разводов и подтеков. (Это требует некоторого опыта).

4. Оставьте пластину сушиться в темном хорошо вентилируемом помещении минимум на 10 минут, чтобы избежать засветки фоторезистного слоя. Далее на 10-15 минут поместите пластину в печь с вентиляцией при температуре 80 градусов Цельсия.

5. Очистите распыляющее отверстие баллона, перевернув баллон и сделав несколько кратких распылений.

6. Пластину, с полностью высушенным слоем фоторезиста, подвергните экспонированию ультрафиолетом. Время экспонирования зависит от толщины нанесенного фоторезистного слоя. Проверьте результат с помощью оптического клина – шкалы Штоффера с 8 по 10 пункты.

7. Проявите магниевую пластину в гидросольвентном проявляющем растворе. Чем толще слой, тем дольше следует выдерживать пластину.

8. Выполните травление стандартным способом.

9. Если требуется удаление покрытия, следуйте стандартному порядку действий по удалению для Hydro-Solve фоторезиста. 

Список требуемых материалов : раствор Mag Prep, Hudro-solve фоторезист в виде спрея, шкала Штоффера, Hudro-solve проявляющий раствор.

С побробной информацией по двойному травлению вы можете ознакомиться в наших брошюрах или презентации Powerpoint.